本项目围绕金属还原氧化钽法生产钽粉工艺技术研究开发需求,结合宁夏东方钽业股份有限公司现有条件,通过设计开发加工制造金属还原氧化钽试验装备若干台套,建成基本满足金属还原氧化钽法生产钽粉工艺技术研究开发试验线,并利用该试验线,对金属还原氧化钽制备钽粉工艺过程的基础理论进行研究,开发满足高压电容器用钽粉。
45-28nm配线用Ta材料规模化生产技术与品质提升(国家02专项)
该项目是国家02重大专项极大规模集成电路制造装备及成套工艺的子项目。该项目实施以来,研发出了满足45-28nm配线用的4N5高纯钽材料。溅射