钽及钽合金靶材

发布时间：

2013-11-07 11:52:38

钽的熔点2996℃,密度16 68g cm3,导热系数(25℃):54(W M K),钽具有高导电性、高热稳定性和对外来原子的阻挡作用，故用贱射镀膜法在集成电路上镀上钽膜，可防止铜向基体硅中扩散。钽靶材主要用于半导体及光学领域。我公司的钽靶材采用EB电子轰击制备的钽锭,通过轧制和退火工艺结合的方法生产而成。该方法生产的靶材具有良好的内部结构、均匀的结晶组织、织构以及能量分布。目前产品远销到日本、韩国、台湾、美国等国家和地区。